器件能够在辐射的环境下工作的特性叫辐射硬化。
辐射（如宇宙射线）会在半导体材料中形成空穴和电子，它会升高不想要的的电流，从而造成器件或电路工作不正常或停止工作。如半导体材料砷化镓本身对辐射所造成的漏电具有抵抗性，我们称砷化镓是天然辐射硬化的。