高纯气体系统用高准度阀
气体工业名词，用于极准确调节流速，特别适用于流速小于1000mLmin的场合。由于阀杆与孔组件的特殊设计，可实现极小流量的准确调节。可以转换阀杆孔组件以适应不同流量的要求。美国Scott特气公司生产的高准度阀有6种孔径，对应气体流量分别为(mLmin)：200，400，760，2700，6500，21000。