高纯气体系统用气体过滤器
高纯气体系统用气体过滤器(UsedinHighPurityGasSystemGasFilter)
气体工业名词，是依据碰撞，扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10011级以管道供给的氮和氩气中规定≥011Lm粒子≤014个L；16MDRAM用气中>011Lm的粒子<1个L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用气前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。