高纯气体系统用陶瓷过滤器
高纯气体系统用陶瓷过滤器(Usedin High Purity Gas System Ceramic Filters)
气体工业名词,由多孔陶瓷所制成的深度过滤器,气体通过弯曲的孔径时,靠拦截,惯性和扩散三种效应来捕捉粒子。其特点是容尘量大,阻力小,耐腐蚀,耐高温,不吸附水,二氧化碳,氧和其它气体,不脱气。典型的陶瓷过滤器对0101Lm粒子的过滤效率可达9919999%。过滤器在包装之前应烘干,同时用纯氮气吹扫,然后在100级洁净室内用双层袋密封包装。最高工作压力17MPa,最高工作温度160℃,最高烘干温度200℃,最大压差10MPa,气流速度50~900Lmin。