气体交付系统
气体交付系统（Gas Delivery Systems）
气体工业名词，将电子气体或高纯气体由钢瓶或液体贮槽经管道输送到使用点的系统称气体交付系统。该系统包括：电化学抛光的散装气体贮槽或槽车，现场气体生产装置，钢瓶或管束拖车，纯化器，有毒气体洗涤器，自动吹洗装置和钢瓶柜，超洁净气体管路系统，阀门，减压器，配件，计算机气体监测系统以及其他管理设施。要求气体在输送过程中无二次污染，即要求整个系统有高度气密性，气体流过管道系统时无气体脱附，无粒子脱落，气体交付系统应由工业气体厂负责运行和管理。