纳米加工厂
制作出比红细胞还小的立体攀登架形状的结构，只需要20分钟。
以前，说到进行纳米级结构的加工，主要采用通过切削材料的方法，或者利用化学反应生成一定模式结构的方法。但在纳米空间中制造出任意形状的立体结构是相当困难的。近年来，人们研究出采用“离子束加工”的方法，可以自由地制造出纳米级大小的立体结构，这已经成为一项引人注目的新技术。究竟采用什么办法，才能在几十纳米的精度内，制造出自由设计的复杂结构呢？这正是本文所要介绍的内容。
协力/松井真二
（日本兵库县立大学高度产业科学技术研究所教授）
Photographs by Shinji Matsui
(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry University of Hyogo)
在一根头发丝上，制作出攀登架那样的复杂结构—精细加工业的这种梦想，现在已经实现了。这主要得益于“离子束加工”方法的研究成果，使人们得以在纳米尺度上制造出有复杂结构的产品。
现在，产业界采用的半导体精细加工技术，是在底板上进行平面布线，线宽局限于100纳米（nm，1纳米＝1/10-9米）左右。而利用这种办法，想要制造出立体式的结构，是相当困难的。采用一种称为“激光造型”的方法，即通过光波进行立体造型的办法，其精度也被限制在微米（m m，1微米＝1/10-6米）范围内。与此相对，如果使用“离子束加工”方法，就能够制造出由直径为80纳米的细棒组成的、长宽高各为3微米左右的攀登架那样复杂的结构。而红细胞的大小约为8.5微米左右，可见这样的纳米级攀登架结构，会有多么微小了。