热解石墨

王朝百科·作者佚名  2010-09-14  
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■产品概述:

热解石墨是新型炭素材料,是高纯碳氢气体在一定的炉压下,在1800℃~2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳,它具有高密度(2.20g/cm)、高纯度(杂质含量(0.0002%)和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmHg的真空度。

■主要应用:

石墨加热器

导流桶

PBN/PG复合加热器

原子吸收管

■主要特点:

Ø 表面致密,无气孔,易机械加工。

Ø 纯度高,总杂质含量<20ppm,气密性好。

Ø 耐高温,强度随使用温度升高而增加,2750℃时强度达到最高値3600℃升华。

Ø 弹性模量低,导热率高,热膨胀系数小,制品优良好的抗热震性能。

Ø 化学稳定性好,耐酸、碱、盐及有机试剂,对熔融金属、炉渣和其他腐蚀性介质均不起作用,在大气中400℃以下氧化不明显,800℃时氧化速度明显增加。

Ø 高温下不放任何气体,在1800℃左右能维持10-7mmhg的真空。

■涂层产品应用:

Ø 半导体行业中,拉制硅单晶导流筒。

Ø 半导体行业石墨加热器涂层。

Ø 晶片退火工艺PBN/PG复合加热器涂层。

Ø 分析仪器用的原子吸收管热解石墨涂层。

Ø 电子束蒸发蒸铝坩埚。

■主要参数:

性能

单位

数值

表观密度

g/cm3

2.2

氦透过率

cm3/s

<1×10-12

抗张强度

室温

2750℃

Mpa

98(力⊥“C”向)

264(力⊥“C”向)

抗压强度

室温

室温

Mpa

64.11(力⊥“C”向)

304(力||“C”向)

抗弯强度

室温

室温

Mpa

127(力⊥“C”向)

118(力||“C”向)

热传导率

W/m•k

376 (“a”向)

2(“C”向)

热膨胀

10℃-1

1.26 (“a”向)

(50-800℃)

电阻率

Ω•cm

2×10-4(“a”向)

0.5(“C”向)

 
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