热解氮化硼

■产品概述

热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制成。

■主要特点：

材料呈白色，无毒、无孔隙、易加工。

纯度高达99.99％，表面致密，气密性好。

耐高温，强度随温度升高，2200℃达到最大值。

耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。

抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。

电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。

在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。

■应用

半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座：

原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。

分子束外延用的MBE系列坩埚。

VGF、VB法系列坩埚。

PBN／PG复合加热器涂层。

石墨加热器绝缘涂层。

高温绝缘流体喷嘴。

MOCVD绝缘板。

异形坩埚及异形石墨件涂层。

晶片退火工艺用复合加热器。■规格：

类 型

类 别

最 大 尺 寸

坩埚类

LEC

8 inch

VGF

8 inch

MBE

8 inch

异形坩埚

板材类

圆形板材

8 inch

长舟

8 inch

绝缘板(MOCVD)

8 inch

涂层类

蒸发舟

石墨加热器

PBN/PG复合加热器

■主要参数:

性能

单位

数值

晶格常数

µm

a:2.504×10-10 c:6.692×10-10

表观密度

g/cm3

2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩锅)

氦透过率

cm3/s

1×10－10

显微硬度(Knoop)(ab平面)

N/mm2

691.88

体积电阻系数

Ω•cm

3.11×1011

抗张强度 (力|| “C”)

N/mm2

153.86

抗弯强度

(力|| “C”)

N/mm2

243.63

(力⊥ “C”)

N/mm2

197.76

弹性模量

N/mm2

235690

热传导率

W/m•k

“a”方向 “c”方向

(200℃)

W/m•k

60 2.60

(900℃)

W/m•k

43.70 2.80

介电强度(室温)

KV/mm

56