空间反射

这是一种利用人为方法在样品上产生某个物理量梯度，如温度梯度、应力梯度、电场和磁场等，并利用光束在样品上作一维扫描获得空间微分反射光谱的方法及其装置。相应的装置由光源、单色仪、振动反射镜、硅探测器、锁相放大器等组成。数据采集、处理、图象显示等由计算机控制。本发明方法简便、操作容易，对样品无破坏性，获得的信号强度大、灵敏度和分辨率高，可以作为半导体材料、量子阱、超晶格和薄膜研究的有效手段，并可在电子工业中广泛应用于材料生长和芯片质量监测。

一种光束扫描空间微分反射光谱方法，其特征在于利用被测样品材料固有的不均匀性或者人为地对被测样品施加热、应力、电、磁等物理作用使其相应的物理量产生不均匀性，再利用单色探测光在样品表面形成周期性往复扫描来获得调制光谱。