高纯背密封减压阀
特征无弹簧螺纹设计
无死角设计
背密封设计
表面光洁度为10Ra/5Ra微英寸〔0.25/0.13μm〕
BA或EP等级
316L VOD/AOD/VIM 或 316L VIM/VAR阀体
Hastelloy C-22膜片
多种压力表接口选择
多种接口形式选择
规格进口压力∶3500psig/241barg或600psig/41barg
出口压力∶1-30,1-60,1-100,1-150psig
〔1-2.1, 1-4.2, 1-7.0, 1-10.5barg〕
工作温度范围∶
PCTFE∶-40oF/-40oC至140oF/60oC
Vepel∶ -40oF/-40oC至350oF/177oC
应用范围高纯气体、半导体行业