马步原先生1942年毕业于浙江大学电机工程系，后去重庆、南京无线电厂工作。1949-1958在台湾清华大学任教，1958—1961留学美国宾夕法尼亚州电子系获博士学位，1961-1973年任台湾清华大学核子工程系系主任兼电子研究所所长。
2006年初，马步原先生的四男二女遵照父亲叶落归根的遗愿，已把父亲的骨灰移到杭州，并安葬在杭州龙居寺。