非晶态半导体器件

王朝百科·作者佚名  2009-12-24  
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非晶态半导体器件 amorphous semiconductor device

以非晶态半导体材料为主体制成的固态电子器件。人们原来认为,对非晶态半导体不能用掺杂的办法控制电阻率,因而其应用受到限制。直到1975年,英国W.G.斯皮尔在辉光放电分解硅烷法制备的非晶硅薄膜中掺杂成功,可以使非晶硅薄膜的电阻率变化10个数量级,为非晶硅和其他非晶半导体器件开辟了道路。

 
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