超净室
根据光学器件制做工艺的特殊要求，需要在超净室中实验进行工作。超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合，清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。
超净室各项功能的配备均以满足各项工艺要求为前提,它具备以下特点:
(1) 在洁净区与非洁净区隔离口设有“TJ —1”型单人定时冷热风淋室,它是工作人员进入超净室的净化关口。
(2) 在非洁净区设有更衣室,操作人员更换防静电洁净服后才可进入超净室。
(3) 设有室内对外器件、物品传递窗。
(4) 室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。
(5) 室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了独立的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。
一、超净室环境保持
1.工作人员应首先做到保持个人清洁卫生，进入室内不要带贵重金属、装饰品及一切化妆品，所用记录纸应选用不起尘纸，记录笔用圆珠笔。工作人员每人最少准备三套洁净服，供换洗及备用，洁净服每周应清洗两次，并与外衣分别设置存衣柜。超净室入口处应设置跨越式鞋柜及粘鞋垫。设备搬入室内前要用吸尘器或其它清洗方式清理干净。每天清扫超净室，包括地面、墙壁及工作台面。
由于春季风沙较大，因此，门窗应密闭，最好采用双层结构。风淋室前后门不得同时开启，以防非净化空气污染净化工作区。设置循环净化送风系统是为保持室内洁净度达到规定等级。进入超净室前需更换洁净服及专用拖鞋，经风淋后方可入内。进入室内操作前20-30分钟，即应打开循环净化送风系统，下班后应将工件、工具等物品存放妥善后，停止净化送风系统。净化系统停止运行后，不应随便进入室内，以减少对超净室的污染。
2. 时常维护超净室环境的设备，使之处于良好工作状态是保证洁净度的前提。相应设备包括柜式空调机、风淋室、使室内洁净度达1000级的循环净化送风系统、洁净度达100 级的光刻区层流罩净化送风系统及净化涂胶台和工作台。循环净化送风系统为单机送风，使室内保持正压。送风形式为上送、侧下回，经初效、中效、高效三级过滤，设计风量3000m3/h , 风压410Pa。 风淋室设置于超净室入口处，用于吹除工作人员身上的浮尘，是进入室内的关口。风淋时，先设定时间，若需加热，可打开温控开关。根据需要调节喷口角度以提高风淋效率。
正确操作、调整空调以保持规定湿度和温度。定期检查室内、外机组运行及电气线路连接状况。所有循环净化送风系统，当进风口处的过滤器表面发黑时，表明阻力增大，影响净化效果，应定期用吸尘器清洁，必要时拆下清洗或更换。风淋室喷口风速应每年测(+, 次，低于规定参数值时，则应更换高效过滤器，更换时要注意箭头标志及密封处不可渗漏。定期进行风机电气线路检修，以保证绝缘及接触良好。
严格按规程操作，工作泵不能无水运行。视水质状况，一年左右清洗、更换过滤树脂或精密过滤芯以及紫外线杀菌灯一次。当水箱水位达下限而报警时，应向水箱注入原水。关机时，注意同时关闭有关阀盘，以保持系统密封。专业设备的管理及维护应由专人负责，使设备保持良好的性能，对延长其使用寿命大有益处。另外，应做好设备维护运行记录。