MEMS教育部重点实验室
[实验室概况]
东南大学半导体专业 1958 年筹建。 1979 年批准为硕士点， 1985 年批准为博士点，同年成立微电子中心， 1998 年批准为博士后流动站。 1999 年申报微电子机械系统（ MEMS ）教育部重点实验室， 2000 年通过可行性论证。 MEMS 教育部重点实验室现有教授 8 人，副教授 13 人，其中有博士学位的教师 9 人。
先后承担的主要课题有：
（ 1 ）气象检测 MEMS 芯片与系统，
（ 2 ）微执行器计算机辅助设计；
（ 3 ）微系统与微力学；
（ 4 ）硅片直接键合技术等国家攻关计划、高技术研究计划和国家自然科学基金等项目。
先后获得中国发明专利 14 项。其中硅片直接键合技术已转移到扬州晶来半导体股份公司生产。已培 养 博士 40 余名，每年可招收博士生 8 名、硕士生 20 余名。 MEMS 教育部重点实验室已成为我国 MEMS 科技研究与高级人才培养基地。
目前主要研究领域有：
（ 1 ） MEMS 计算机辅助设计；
（ 2 ） MEMS 集成传感器；
（ 3 ）微执行器；
（ 4 ）射频 / 微波 MEMS ；
（ 5 ）光 MEMS ；
（ 6 ）硅微加工技术。
与国际知名高校、尤其与跨国公司或知名合资公司合作，通过基础研究、技术创新、高新技术产业化和人才培养等方面的努力，为国家经济发展和社会发展做出更大贡献。