深冷分离法又称低温精馏法，林德教授1902年发明。
实质就是气体液体化技术。通常采用机械方法，如用节流膨胀或绝热膨胀等方法，把气体压缩、冷却后，利用不同气体非典上的差异进行蒸馏，使不同气体得到分离。
特点使产品气体纯度高，但压缩、冷却的能耗很大。该法适用于大规模气体分离过程，如空气制氧。
目前，在我国制氧量的80%是用该法完成的，经过多年的努力，其能耗已得到很大的改善。