硅漏

王朝百科·作者佚名  2010-06-10  
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漏硅,是在进行直拉法(Cz)拉晶的操作工程中,因石英坩埚破裂等原因,造成熔融的硅液泄漏。轻则损伤热场,重则引起爆炸,是拉晶行业中需要重大防范的事故。

发现漏硅,第一时间可采取的措施有:

1. 投料前确保单晶炉防爆阀状良好

2. 据漏硅速度,迅速停加热,氩气、真空不要停!如果坩埚可升降则迅速升至量高限,同时停止埚转。

3. 准备灭火器至炉台下方,确保烧穿波纹管后不能引起火灾。

4. 如果漏硅速度很快,则停加热后紧急疏散。

5. 漏硅时万不可向炉内观望!防止事故引起人身伤害.

 
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